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    進口光學平臺

    簡要描述:美國TMC進口光學平臺成立于1969年,是專門生產振動隔離系統的廠家。TMC領導了世界振動隔離系統*先進的設計理念,至今仍保持多項技術。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2019-12-11
    • 訪  問  量:2507

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    詳細介紹

    進口光學平臺

    TMC主動隔振系統STACIS® III

    STACIS初設計用于隔離先進半導體工廠中的精密微平版印刷,計量和檢測設備,現在是噪聲環境中敏感儀器的行業標準解決方案,包括但不限于半導體工廠,故障分析實驗室,納米技術研究,納米制造設施和材料研究。

    STACIS III包括一個新的和改進的數字控制器,DC-2020。新的雙核處理器和以太網以及前后面板上的USB串行端口,這個新的先進的控制系統為用戶提供了一個現代的,易于使用的圖形用戶界面(GUI)。通過數百個成功安裝,STACIS是振動敏感度高的儀器的理想振動消除系統。

    特征及優點:

    • 新改進型DC-2020數字控制器,提供易于使用的圖形用戶界面
    • 隔振開始于0.6Hz,1Hz時達到40%至70%的隔離率
    • 頻率2赫茲和更高時,垂直和水平隔振率大于90%
    • 降低基礎設施的要求和建設成本,即使有較大外界震動設備也可正常運行
    • 有效隔振范圍,0.6Hz到150Hz
    • 獲得眾多用戶的廣泛認可和肯定
    • 6向自由度硬安裝設計,無需空氣懸架
    • 強大的控制系統無需定期重新校準
    • point-of-use設計方案,與客戶現有隔振系統無縫兼容
    • 隨著外部環境改變,系統自動調節以適應不同外部震動情形
    • TMC的STACIS®技術使用壓電執行器主動消振
    • 數字控制器與基于PC的圖形用戶界面(GUI)
    • 提高客戶產品產量、質量、成品率。
    • 符合RoHS標準
    • 寬的主動隔振帶寬,的低頻隔振效果
    • 亞赫茲的主動震動消除,主要在0.6-6Hz頻段內的隔振
    • 可堆疊式設計
    • 主動硬式安裝結構、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連
    • 被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負載諧振,需要的調諧非常少,甚至無需調諧
    • 由于阻抗不匹配,可兼容儀器內部隔離器
    • 負載可達2000kg

    STACIS® III性能規格:

    Active degrees of freedom

    6

    Active bandwidth

    0.6 Hz - 150 Hz

    Passive natural frequency

    18 Hz vertical and horizontal

    Effective active resonant frequency

    0.5 Hz

    Isolation at 1 Hz

    40% - 70%

    Isolation at ≥2 Hz

    ≥90%

    Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)

    0.3 sec

    Internal noise

    0.1 nm RMS

    Operating load range per isolator

    Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg)
    Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg)
    Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg)

    Static lift capacity per isolator

    9000 lbs (4090 kg)

    Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator)

    40,000 lb/in. (73 x 105N/m)

    Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator

     0.02 μG broadband RMS

    STACIS® III用戶及應用領域:

    1、微電子、半導體

    • 晶片檢測
    • 顯微光刻技術
    • 掩膜校準

    2、科學研究、納米技術

    • SEM、TEM
    • STEM、SPM

    3、激光臺

    • 生命科學、藥物研發

    4、工業應用

    • 精密加工

    為什么要選擇主動系統?

    • 1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
    • 提高質量、生產量
    • 更加細小特色的成像能力
    • 前沿研究
    • 比氣動平臺更穩定
    • 滿足SEM標準地點安裝參數的wei一解決方案
    • 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

    主動系統為何選擇STACIS

    • 正中了科研者的的心聲,提供了盡可能的無震環境。
    • 市場上強勁的低頻隔振系統。
    • 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求,其需要的震動參數需要主動隔振設備才能滿足。
    • STACIS發明于1990s,經TMC進一步發展,開發和安裝了數以千計的主動隔振設備,這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。

    STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

    穩定時間作為對擾動的響應,由于獨特的串聯式設計,而大大縮短,理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

    如下優勢在業內都是的

    • STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
    • 6個自由度的主動震動消除,在1Hz時隔振8-10dB 
    • 從2-3Hz時,隔振可達90% (20dB) 

    性能曲線

    4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

     

    進口光學平臺 超凈間790系列

    ClassOne 790 Series for Cleanrooms

    ClassOne™CleanTop®光學平臺是為了將傳統的CleanTop平臺用于超凈間所做的擴展。共有兩種阻尼可選:大阻尼和標準阻尼。如果需要,不銹鋼CleanTop“杯”結構也可供選擇。

    特點

    • 5mm厚的平臺頂板
    • 兩個固定等級阻尼
    • CleanTop獨立尼龍杯,每一個螺紋孔下面都是密封的
    • 不銹鋼結構頂板、底板和側壁
    • 適用于超凈間的設計和包裝 

    規格

    Core

    Sl honeycomb,closed-cell,0.010 in. thick foil

    鋼制蜂窩封閉孔,0.010英寸厚的鋁箔

    Core shear modulus

    275,000 psi

    Core cell size

    <0.5 in.²

    Core density

    13.3 lbs/ft³(230kg/m³)

    Flatness

    ±0.005 in.(0.13mm)

    Top and botton skins

    430 series ferromagnetic stainless steel

    430系列鐵磁不銹鋼

    Sidewalls

    Stainless steel with damped interior surface

    不銹鋼與內部減震表面

    Tapped holes

    Backed by 1 in. (25mm)

    Long nylon(optional stainless steel 304alloy)cups

    使用25mm長尼龍杯(或304不銹鋼杯)

     

    Surface Dimensions

    8"
    Thick Tops
    (200 mm)

    12"
    Thick Tops
    (300 mm)

    18"
    Thick Tops
    (450 mm)

    24"
    Thick Tops
    (600 mm)

    in.

    ft.

    m

      30 x 60
    maximum dry damping

      

      0.75 x 1.5
    maximum dry damping

      794-432

      794-632

      

      

      30 x 72
    maximum dry damping

      

      0.75 x 1.8
    maximum dry damping

      794-491

      794-691

      

      

      30 x 96
    maximum dry damping

      

      0.75 x 2.4
    maximum dry damping

      794-492

      794-692

      

      

      30 x 120
    maximum dry damping

      

      0.75 x 3.0
    maximum dry damping

      794-493

      794-693

      

      

      36 x 60
    maximum dry damping

      3 x 5
    maximum dry damping

      0.9 x 1.5
    maximum dry damping

      794-436

      794-636

      

      

      36 x 72
    maximum dry damping

      3 x 6
    maximum dry damping

      0.9 x 1.8
    maximum dry damping

      794-439

      794-639

      

      

      36 x 96
    maximum dry damping

      3 x 8
    maximum dry damping

      0.9 x 2.4
    maximum dry damping

      794-440

      794-640

      794-740

      794-840

      36 x 120
    maximum dry damping

     3 x 10 
    maximum dry damping  

      0.9 x 3.0
    maximum dry damping

      794-494

      794-694

      794-794

      794-894

      40 x 60
    maximum dry damping

      

      1.0 x 1.5
    maximum dry damping

      794-443

      794-643

      

      

      40 x 80
    maximum dry damping

      

      1.0 x 2.0
    maximum dry damping

      794-444

      794-644

      794-744

      794-844

      40 x 120
    maximum dry damping

      

      1.0 x 3.0
    maximum dry damping

      794-445

      794-645

      794-745

      794-845

      48 x 48
    maximum dry damping

      4 x 4
    maximum dry damping

      1.2 x 1.2
    maximum dry damping

      794-447

      794-647

      

      

      48 x 60
    maximum dry damping

      4 x 5
    maximum dry damping

      1.2 x 1.5
    maximum dry damping

      794-449

      794-649

      

      

      48 x 72
    maximum dry damping

      4 x 6
    maximum dry damping

      1.2 x 1.8
    maximum dry damping

      794-451

      794-651

      794-751

      794-851

      48 x 96
    maximum dry damping

      4 x 8
    maximum dry damping

      1.2 x 2.4
    maximum dry damping

      794-455

      794-655

      794-755

      794-855

      48 x 120
    maximum dry damping

      4 x 10
    maximum dry damping

      1.2 x 3.0
    maximum dry damping

      794-459

      794-659

      794-759

      794-859

      48 x 144
    maximum dry damping

      4 x 12
    maximum dry damping

      1.2 X 3.6
    maximum dry damping

      794-463

      794-663

      794-763

      794-863

      48 x 168
    maximum dry damping

      4 x 14
    maximum dry damping

      1.2 x 4.2
    maximum dry damping

      794-465

      794-665

      794-765

      794-865

      48 x 192
    maximum dry damping

      4 x 16
    maximum dry damping

      1.2 x 4.8
    maximum dry damping

      794-467

      794-667

      794-767

      794-867

      60 x 60
    maximum dry damping

      5 x 5
    maximum dry damping

      1.5 x 1.5
    maximum dry damping

      794-470

      794-670

      794-770

      794-870

      60 x 72
    maximum dry damping

      5 x 6
    maximum dry damping

      1.5 x 1.8
    maximum dry damping

      794-471

      794-671

      794-771

      794-871

      60 x 80
    maximum dry damping

      

      1.5 x 2.0
    maximum dry damping

      794-472

      794-672

      794-772

      794-872

      60 x 96
    maximum dry damping

      5 x 8
    maximum dry damping

      1.5 x 2.4
    maximum dry damping

      794-473

      794-673

      794-773

      794-873

      60 x 120
    maximum dry damping

      5 x 10
    maximum dry damping

      1.5 x 3.0
    maximum dry damping

      794-475

      794-675

      794-775

      794-875

      60 x 144
    maximum dry damping

      5 x 12
    maximum dry damping

      1.5 x 3.6
    maximum dry damping

      794-476

      794-676

      794-776

      794-876

      60 x 168
    maximum dry damping

      5 x 14
    maximum dry damping

      1.5 x 4.2
    maximum dry damping

      794-477

      794-677

      794-777

      794-877

     60 x 192
    maximum dry damping

     5 x 16
    maximum dry damping

      1.5 x 4.8
    maximum dry damping

      794-478

      794-678

      794-778

      794-878

    Weight Factor(WF) (approx.);
    Area x WF = Total Weight

     

    0.255 lb/in.2
    (0.016 kg/cm2

    0.265 lb/in.2
    (0.019 kg/cm2)

    0.420 lb/in.2
    (0.030 kg/cm2)

    0.475 lb/in.2
    (0.033 kg/cm2)

     

    主動隔振基座SEM-Base® VI

    用于SEM的主動式壓電陶瓷振動消除地面式隔振基座-非氣浮式系統

    SEM-Base® VI是TMC STACIS主動壓電振動消除產品系列的新一代產品。SEM- Base®  VI設計用于承載所有商業掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數聚焦離子來顯微 鏡(FIB)及小型雙尤來設備。SEM-Base® VI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更強勁的控制器,帶有圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI讓越來越多的實驗室、工廠可以實現能夠滿足其關鍵設備所要求的地面振動水平。

    SEM-Base® VI采用獨特串聯結構,振動傳感器測量的是地面振動,不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器,在測量亞Hz振動時具有大的敏感度。加上TMC獨特的壓電致動技術,SEM-Base® VI即使在振動情況已經很好的地面上也可以實現超高水平的振動消除。

    相比之前的SEM-Base版本,SEM-Base® VI的振動隔離能力平均來說增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式雙核處理器,為設備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面,可以快速進入系統并實現平和的操作心態。當通過Ethernet連接時,DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實現SEM-Base圖形用戶界面,無需額外安裝軟件或者應用程序。當然用戶也可以通過控制器的菜單驅動液晶屏(LCD)直接進行控制。

    優勢:

    • 硬式裝載技術

    SEM-Base® VI兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統,從0.6Hz開始主動強力消減地面低頻振動。

    • 主動慣性振動消除

    SEM-Base® VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。

    • 串行設計與壓電技術

    獨特串行設計加上高強度壓電技術,SEM-Base® VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬,更實現了的慣性主動振動消除,2Hz以上的振動衰減可達 90%以上。

    • 完全集成式的單平臺設計

    SEM-Base® VI設計與制造的集成化,將安裝平臺的工作簡化到了jizhi,簡單的定位與設置之后即可正常工作。

    NOTE:可選SEM-Closure,專門設計用于保護SEM的完整環境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內可兼顧放置 SEM-Base® VI與Mag-Net X,保護SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響

    特點:

    • STACIS技術
    • 主動慣性振動清除系統
    • 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數商業SEM
    • 負載能力:408-1134kg (900-2500 lb.)
    • 隔振效率1Hz:40-70%
    • 隔振效率經2Hi:90%
    • 隔振效率>3Hz:90-98%
    • 6個主動自由度
    • 安裝容易,調試簡單
    • 兼容所有設備內直的振動隔離系統
    • 電源:100-240VAC, 50/60Hz, 600W
    • 是否需要空氣:非氣浮系統
    • CE與RoHS認證
    • 完全集成式的單平臺設計
    • 可安裝腳輪,輕松便攜移動,無需搬運
    • 兼容SEM-lift系統

    性能規格:

    Active degrees of freedom

    6

    Active bandwidth

    0.6 Hz - 100 Hz

    Passive natural frequency

    12 Hz nominal

    Effective active resonant frequency

    0.5 Hz

    Isolation at 1 Hz

    40% - 70%

    Isolation at 2 Hz

    90%

    Isolation at ≥3 Hz

    90-98%

    Internal noise

    <0.1 nm RMS

    Operating load range

    Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)
    High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)

    Static lift capacity

    12,000 lbs (5454 kg)

    Magnetic field emitted
    at maximum 4 in.(102 mm)
    from the platform

    0.02 μG broadband RMS

    內置控制器規格

    Processor

    150/75 MHz dual core

    Sampling rate

    10 kHz

    Analog outputs

    16 channels

    Analog inputs

    16 channels

    Status light

    single LED

    Front panel ports

    1x serial USB 2.0
    1x serial Micro-USB
    1x Ethernet RJ-45
    2x BNC

    User interface

    Front panel LCD display
    Character menu on HyperTerminal
    Extended GUI for Microsoft Windows
    Embedded Ethernet GUI

    隔離器設計,尺寸,環境和實用要求

    Environmental and safety

    CE and RoHS compliant

    Active isolation elements

    high-force piezoelectric actuators that receive signal
    from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC

    Passive isolation element

    single stiff elastomer (no compressed air supply required)

    Vibration sensor elements

    downward facing geophone type inertial sensors
    that measure floor vibration below the isolator
    and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion

    Active feedback control loop

    Floor vibration is measured, processed
    and attenuated below the spring
    supporting the isolated surface

    Dimensions (D)

    35.25 x 44.25 in.
    895 x 1124 mm

    Height

    6.3 in. (160 mm) nominal,
    doesn't change when SEM-Base is switched off

    Operating temperature

    50° - 90° F
    10° - 32° C

    Storage temperature

    -40° - 130° F
    -40° - 55° C

    Humidity (operating)

    30 - 60%

    System power requirements

    100, 120, 230, 240 VAC
    50/60 Hz AC;
    600 W
    CE compliant

    Floor displacement

    800 μin. (20 μm) below 10 Hz

    性能曲線:

    1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

    產品尺寸:

    CleanBench 68-500高負載光學實驗桌

    對于需要隔離凈重超過350磅(160千克)的隔振實驗桌應用,我們推薦使用我們的高負載的CleanBench 68-500系列實驗桌。 它們與我們的63-500系列工作臺設計類似,具有更高負載的隔離裝置和更厚的不銹鋼頂板。

    除高負荷應用外,CleanBench還推薦用于具有異常高重心和有移動平臺的設備的負載。 這些應用程序應該受益于穩定性的提高。

    隨著更堅硬,更厚重的臺面,更低的固有頻率的隔離器和更堅硬更重的支腿,高負載的CleanBenches提供的性能明顯優于業內其他被動式工作臺。

    參數

    隔離器固有頻率

    高頻輸入

    垂直方向=1.0Hz,水平方向=0.8Hz

    低頻輸入

    垂直方向=1.2-1.7Hz,水平方向=1.0-1.5Hz

    隔離器效率@5HZ

    垂直方向=80-90%   水平方向=80-90%

    隔離器效率@10Hz

    垂直方向=90-99%   水平方向=90-99%

    推薦負載能力

    545Kg

    整體材料

    不銹鋼平臺, 黑色氧化處理中等材料框架

    空壓機要求

    80psi氮氣或空氣

    船運重量

    454kg

    參數尺寸圖

    High-Capacity CleanBench Lab Tables with Gimbal Piston Vibration Isolation

    Table Size (DxL)

    Smooth Top

    Tapped Holes
    1/4-20 on 1 in. Spacing

    Tapped Holes

    M6 on 25 mm Spacing 

    900 x 1200 mm
    35.4 x 47.2 in.

    68-9012S

    68-9012E

    68-9012M

    900 x 1500 mm
    35.4 x 59.0 in.

    68-9015S

    68-9015E

    68-9015M

    Accessories - All Table Sizes

    Casters (set of four)

    83-013-01

    Regular Armrest Pad (two recommended)

    81-303-01

    Subshelf

    81-421-01

    Accessories - Size Dependent

    Table Size (DxL)

    Front Support Bar

    Rear Support Bar

    900 x 1200 mm
    35.4 x 47.2 in.

    81-401-12

    81-402-12

    900 x 1500 mm
    35.4 x 59.0 in.

    81-401-15

    81-402-15

     

    Everstill™桌面式主動隔振光學平臺

    Everstill™ Active Benchtop Isolator

    Everstill™是TMC在先進的地面振動控制方面的新突破。獲得的Everstill K-400是一款臺式主動振動消除平臺??,采用“串行式”有源架構。再加上與速度傳感器相結合,增強了低頻靈敏度,實現了極低水平的低頻振動大幅度衰減。

    隨著TMC的STACIS®壓電振動消除技術發展,Everstill是一款臺式主動振動消除平臺,可消除0.7 Hz起始的的振動。專為大低頻性能設計的Everstill擅長于1-10 Hz的范圍,其中精密儀器對1-10 Hz往往是敏感的。

    Everstill K-400設計用于將超精密儀器與建筑物地板振動相隔離,隔離的頻率從1Hz開始。是光學顯微鏡,掃描探針顯微鏡SPM和計量儀器的理想選擇。使用Gainmatch™(正在申請),您可以輕松選擇三種增益設置中的一種,以在您的環境中實現佳性能。

    便攜式,緊湊型設計非常適合安裝在工作臺和桌子上。wei一的輸入要求是來自標準AC插座的電力。

    優勢:  

    的低頻性能可以從0.7 Hz的頻率隔離。提供非常顯著的的振動消除,特別是在1-10 Hz的范圍內。

    獲得的主動減振技術。非常適合小型輕量級超精密儀器

    主動硬式安裝。無需氣泵,牢靠的即插即用設計。

    先進的震動傳感技術。采用地音探測速度傳感器達到亞赫茲的低頻性能,其低頻靈敏度要優于加速度計。

    結構體系

    串聯式主動系統(致動器與隔離彈簧串聯)

    震動傳感器

    地音探測式速度傳感器(電壓與速度成正比)

    調平

    自動調平

    重復率

    +/- 0.02 in (+/- 0.5mm)

    尺寸

    (W x L x H)16 x 20 x 4 in.

    400 x 500 x 100 mm

    重量

    55 lbs. (25 kg)

    負載能力:

    50–330 lbs. (23–150 kg)

    隔震性能

    4–7 dB @ 1.0 Hz

    > 20 dB,大于2.5 Hz時

    共振頻率

    0.6 Hz

    主動震動消除帶寬

    0.7–100 Hz

    被動震動消除帶寬

    1000 Hz

    供電

    90-220V,50/60Hz

    頂部基板

    黑色陽極電鍍鋁(螺紋孔可選)

    Everstill™ Ordering Chart

    Catalog No.

    Hole Pattern

    Dimensions (LxH)

    K-400

    No Holes

    16 x 20 x 3 in.
    400 x 500 x 100 mm

    K-400E

    1/4 - 20 on 1 in. centers

    K400M

    M6 on 25 mm centers

    Accessories Ordering Chart

    Catalog No.

    Description

    Dimensions (LxH)

    29-43240-01

    46 lb. (21 kg) Load Plate

    16 x 20 x 0.5 in.
    400 x 500 x 12 mm

    29-43245-01

    Basepad

    16 x 20 x 0.03 in.
    400 x 500 x 0.8 mm

    1163K-7512S

    CleanBench for Everstill K-series

    29.5 x 47.25 x 29.5 in.
    750 x 1200 x 750 mm

    1163K-7590S

    CleanBench for Everstill K-series

    29.5 x 35.4 x 29.5 in.
    750 x 900 x 750 mm

    83-501

    Multi-Purpose Acoustic Enclosure 

    32 x 36 x 64 in.
    813 x 914 x 1626 mm

     

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